日本KOFLOC小島-數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-300C SERIES
帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器
MODEL DF-300C SERIES
這是一款帶有集成顯示器的質(zhì)雖流顯控制器,可與DF系列所需的24V電源配合使用。
采用DF- 200C系列實現(xiàn)準確度11%SP,1秒內(nèi)(全范圍) 響應(yīng),同時通過簡單的操作能夠變更包含基準體在
內(nèi)的7種氣體類型及其流量范圍,直接利用多種氣體和多范圍的優(yōu)越多面性。增強了便利性。
DF350
DF550
DF200
DF250

DF-300C標準規(guī)范
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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閥門方式 | 比例電磁閥(未通電時關(guān)閉) |
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目標氣體(* 1) | N2(Air,H2,He,Ar,O2,CO2)(* 2) |
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流量范圍(* 3) | 10/30/50/100/300/500 SCCM,1/3/5/10 SLM(* 2) |
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控制范圍 | 2~100%(F.S.) |
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響應(yīng)能力(* 4) | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2%F.S.) |
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L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa |
精度(* 5) | ±1.0%SP(> 35%F.S.), ±0.35%F.S.(≦35%F.S.) |
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再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. |
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動作壓差(* 6) | 50~300 kPa(Ar、CO2:100~300 kPa) |
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最大入口壓力 | 500kPa(G) |
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耐壓 | 980kPa(G) |
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He泄漏率(* 7) | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 |
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溫度 | 允許周圍溫度 | 5~50℃ |
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精度保證溫度 | 15~35℃ |
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允許儲存溫度 | -10~60℃ |
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允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH (無結(jié)露) |
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氣體接觸材料 | SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼,Ni,PTFE,PCTFE,F(xiàn)KM |
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電氣連接 | D-sub 15引腳 公頭 高密度型,HR-10A×2 |
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流量設(shè)定信號 | 0~5 VDC(輸入電阻:約1MΩ)or4~20mA(輸入電阻:約250Ω) |
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流量輸出信號 | 0~5 VDC(負載電阻:10kΩ以上)or4~20mA(負載電阻:500Ω以下) |
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數(shù)字通信 | 根據(jù)RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址:最多99臺(9600 bps) |
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活動輸入 | 接點輸入×3個(非絕緣) |
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活動輸出 | NPN開路集電極×3個(非絕緣,最大額定值35 V,50 mA |
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所需電源(DC) | + 24VDC(±10%)300mA以下(DC插孔.D-sub) |
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接頭(* 8) | 1 / 4F 900(標準),1/4 UJR,Rc1 / 4 |
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安裝姿勢 | 推薦水平方向 |
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重量(* 9) | 約950g |
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(* 1)應(yīng)為干燥氣體,無腐蝕性成分,灰塵,霧氣等的干凈氣體。
(* 2)使用專用軟件,可以更改氣體類型或在指定的滿量程范圍的30%至100%(僅限CO2的30%至80%)內(nèi)更改滿量程范圍。
(* 3)流量校準單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
(* 4)校準氣體:對于N2的保證。
(* 5)校準氣體:對于N2、流量范圍(最大滿量程)的精度。
(* 6)操作壓差可能因規(guī)格而異。
(* 7)不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
(* 8)如需其他接頭,請另行詢問。
(* 9)不含接頭的重量。