日本KOFLOC小島-壓力調(diào)節(jié)閥 MODEL 6610 SERIES

低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器勵調(diào)節(jié)閥

MODEL 6610 SERIES

與MODEL6600相比。新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好。能夠快速準確地進行壓力調(diào)節(jié)。

本產(chǎn)品最適合用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導體制造設(shè)備。

• 具有低壓側(cè)高精度控制的特性
  將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。

• 不使用潤滑油
  接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，最適合需要保持純凈狀態(tài)的半導體領(lǐng)域等。

•  防松螺母結(jié)構(gòu)
  通過防松螺母固定設(shè)定過一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。

•  不滲液型
  本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會發(fā)生氣體外泄，請您放心使用。