日本YAMATO雅馬拓-等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

日本YAMATO雅馬拓-等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS13. 56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE:DP雙模式。特點硅晶圓的灰化及蝕刻?；灞砻嫖酃柑幚?。IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。自然氧化膜·有機物去除。界面活性處理。表面污染物去除。