日本YAMATO雅馬拓-厭氧高溫爐 C1-015
晶圓固化
特點(diǎn)
N2、Ar兩種低氧氛圍。
配置進(jìn)口氧濃度分析儀。
真空箱內(nèi)套陶瓷纖維爐體，保證低氧濃度的同時(shí)，有效隔絕爐內(nèi)高溫。
取得專利的浮動(dòng)門(mén)構(gòu)造。
密封條水冷構(gòu)造。
微壓差排氣安全閥，保證槽內(nèi)微正壓狀態(tài)安全。
排氣管路配置冷卻風(fēng)扇。
日本YAMATO雅馬拓-厭氧高溫爐 C1-015
晶圓固化
特點(diǎn)
N2、Ar兩種低氧氛圍。
配置進(jìn)口氧濃度分析儀。
真空箱內(nèi)套陶瓷纖維爐體，保證低氧濃度的同時(shí)，有效隔絕爐內(nèi)高溫。
取得專利的浮動(dòng)門(mén)構(gòu)造。
密封條水冷構(gòu)造。
微壓差排氣安全閥，保證槽內(nèi)微正壓狀態(tài)安全。
排氣管路配置冷卻風(fēng)扇。