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    日本YAMATO雅馬拓-厭氧高溫爐 C1-015

    日本YAMATO雅馬拓-厭氧高溫爐 C1-015晶圓固化特點(diǎn)N2、Ar兩種低氧氛圍。配置進(jìn)口氧濃度分析儀。真空箱內(nèi)套陶瓷纖維爐體,保證低氧濃度的同時,有效隔絕爐內(nèi)高溫。取得專利的浮動門構(gòu)造。密封條水冷構(gòu)造。微壓差排氣安全閥,保證槽內(nèi)微正壓狀態(tài)安全。排氣管路配置冷卻風(fēng)扇。

    日本YAMATO雅馬拓-厭氧高溫爐 C1-015
    晶圓固化
    圖片關(guān)鍵詞
    特點(diǎn)

    • N2、Ar兩種低氧氛圍。

    • 配置進(jìn)口氧濃度分析儀。

    • 真空箱內(nèi)套陶瓷纖維爐體,保證低氧濃度的同時,有效隔絕爐內(nèi)高溫。

    • 取得專利的浮動門構(gòu)造。

    • 密封條水冷構(gòu)造。

    • 微壓差排氣安全閥,保證槽內(nèi)微正壓狀態(tài)安全。

    • 排氣管路配置冷卻風(fēng)扇。