日本tokyokeiso東京計裝HM5000 熱質(zhì)質(zhì)量流量控制器
大綱
HM5000系列是測量各種氣體的熱式質(zhì)量流量計和控制器。
可以測量和控制從5mL/min（nor）到400L/min（nor）的氣體流量，不受溫度和壓力變化的影響。
有兩種類型可供選擇：用于測量流量的質(zhì)量流量計和內(nèi)置控制閥的質(zhì)量流量控制器，也可用于高性能和廣泛使用類型。可以根據(jù)應(yīng)用進行選擇。
特征
? 流量測量范圍廣
適用范圍廣，從 0 到 5mL/min（nor） 到 0 到 400 L/min（nor）。
? 高精度
±1%F.S.（高性能型）
? 小型化和可靠性的提高
? 以下功能可選擇添加。
慢啟動功能（常閉型） 輸出信號：1至5VDC
應(yīng)用
? 工業(yè)中的公用燃?xì)夤?yīng)管線
? 各種分析儀器
? 半導(dǎo)體氣體供應(yīng)管路
? 氣體恒流控制和混合控制
? 嵌入式設(shè)備