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美國(guó)Filmetrics優(yōu)尼康-F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)xF3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)xF3-sX利用光譜反射原理，可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測(cè)厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且能在幾分之一秒內(nèi)完成。產(chǎn)品名稱： F3-sX 薄膜厚度測(cè)量?jī)x 品牌： Filmetrics 產(chǎn)
美國(guó)Filmetrics優(yōu)尼康-F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x
F3-sX利用光譜反射原理，可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測(cè)厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且能在幾分之一秒內(nèi)完成。
產(chǎn)品名稱： F3-sX 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
品牌： Filmetrics
產(chǎn)品型號(hào)： F3-sX
產(chǎn)地： 美國(guó)
F3-sX利用光譜反射原理，可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度，可測(cè)厚度達(dá)3毫米。此類厚膜，相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻，F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且能在幾分之一秒內(nèi)完成。
F3-sX采用的是近紅外光（NIR）來(lái)測(cè)量膜層厚度，因此可以測(cè)試一些肉眼看不透明的膜層（ 比如半導(dǎo)體膜層） 。980nm波長(zhǎng)型號(hào)，F(xiàn)3-s980，針對(duì)低成本預(yù)算應(yīng)用。F3-s1310針對(duì)于高參雜硅應(yīng)用。F3-s1550則針對(duì)較厚膜層設(shè)計(jì)。
配件包括自動(dòng)繪圖平臺(tái)、測(cè)量點(diǎn)可視化的攝像機(jī), 和可見(jiàn)光波段選項(xiàng)，使測(cè)量厚度能力小到15納米。此外數(shù)據(jù)采集速率達(dá)到1kHz。
? Si晶圓厚度測(cè)試
? 保形涂層
? IC 芯片失效分析
? 厚光刻膠（比如SU-8光刻膠）
? 嵌入式在線診斷方式
? 免費(fèi)離線分析軟件
? 存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果