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    eoptics頤光科技SE-i 光譜橢偏儀
    
                                                          
    eoptics頤光科技SE-i 光譜橢偏儀SE-i 光譜橢偏儀針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析一、概述SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。二、測試案例成膜工藝監(jiān)控膜厚表征三、產(chǎn)
    
                                                                                                                                                  
                        
    
                
    
            
    
        
    
    
    
    
    
        
    
            
    

                  
                
    
                                        
    
                        
    
                            
                            
    

                                        
                                
    
                                    
    eoptics頤光科技SE-i 光譜橢偏儀
    圖片關(guān)鍵詞
      SE-i 光譜橢偏儀
      針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析
    一、概述
    SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍
    膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化
    開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。
    		SE-I新版.png
    二、測試案例
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    成膜工藝監(jiān)控
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    膜厚表征
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    三、產(chǎn)品應(yīng)用
    廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。

    微信截圖_20180930102533.png