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eoptics頤光科技SE-i 光譜橢偏儀SE-i 光譜橢偏儀針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，橢偏測量頭快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析一、概述SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。二、測試案例成膜工藝監(jiān)控膜厚表征三、產(chǎn)
eoptics頤光科技SE-i 光譜橢偏儀
一、概述
SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍 膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化 開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。 |  |
二、測試案例
成膜工藝監(jiān)控
膜厚表征
三、產(chǎn)品應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時(shí)反饋測量物性數(shù)據(jù)。
