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日本PISCO碧鑠科迷你型彈簧式真空進(jìn)氣口，內(nèi)置一鍵式接頭VPMC4-2RMS-3J特長半導(dǎo)體製造設(shè)備に最適な小型タイプ。半導(dǎo)體製造設(shè)備に最適な小型タイプ。豊富なパッドサイズ、パッド材質(zhì)、ホルダ形狀のバリエーション。パッドサイズ：6種。パッド材質(zhì)：10種。ホルダ形狀：6種。スプリング式ホルダのストロークが選択可能。スプリング式ホルダに低発塵タイプを用意。従來のスプリング式ホルダに比べ低発塵。騒音レ
日本PISCO碧鑠科迷你型彈簧式真空進(jìn)氣口，內(nèi)置一鍵式接頭VPMC4-2RMS-3J
半導(dǎo)體製造設(shè)備に最適な小型タイプ。
パッドサイズ：6種。
パッド材質(zhì)：10種。
ホルダ形狀：6種。
従來のスプリング式ホルダに比べ低発塵。
騒音レベル：45dBで低騒音を?qū)g現(xiàn)。
接続可能なパッドサイズ：φ0.7～φ4mm
ストローク：2、5、10、15、20mmを用意。
-S3仕様:流路に銅を主成分とする金屬材料不使用,シールゴム材質(zhì)にはHNBRまたはFKMを採用。
| 材質(zhì) | ニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、導(dǎo)電性シリコーンゴム、導(dǎo)電性ブタジエンゴム(低抵抗タイプ)、導(dǎo)電性NBR(低抵抗タイプ)、食品衛(wèi)生法適合NBR、HNBR、EPDM |
|---|
※1)導(dǎo)電性シリコーンゴムの材質(zhì)は、靜電気を逃がすシリコーンゴムです。(體積抵抗率：105Ω·cm以下)
※2)導(dǎo)電性ブタジエンゴム(低抵抗タイプ)の材質(zhì)は、ブタジエンゴムです。(體積抵抗率：200Ω·cm以下)
※3)導(dǎo)電性NBR(低抵抗タイプ)の材質(zhì)は、ニトリルゴムです。(體積抵抗率：200Ω·cm以下)
※4)パッドゴム材質(zhì)：ニトリルゴム(N)と食品衛(wèi)生法適合NBR(G)と導(dǎo)電性NBR(低抵抗タイプ) (NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。
| 固定式真空取出口 上 | VPMA(ミニ) |
|---|---|
| 固定式真空取出口 橫 | VPMB(ミニ) |
| 固定式直付型 | VPME(ミニ) |
| スプリング式真空取出口 上 | VPMC(ミニ)／VPLFC(低発塵) |
| スプリング式真空取出口 橫 | VPMD(ミニ) |
| パッドサイズ | φ0.7, φ1, φ1.5, φ2, φ3, φ4 |
|---|
| ワンタッチ継手(mm) | 1.8, 2, 3, 4, 6 |
|---|---|
| バーブ継手(mm) | 3x2, 4x2.5, 6x4 |
※)ホルダ形狀により、選択できる接続サイズが異なります。
| メネジ | M3x0.5, M5x0.8 |
|---|---|
| オネジ | M3x0.5, M5x0.8 |
※)ホルダ形狀により、選択できる接続サイズが異なります。
