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    日本SINFONIA昕芙旎雅 半導(dǎo)體無塵搬運(yùn)設(shè)備SELOP-8系列

    SINFONIA(昕芙旎雅株式會(huì)社)成立于1917年,以電磁控制技術(shù)為核心,提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實(shí)驗(yàn)裝置測試系統(tǒng)、振動(dòng)輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動(dòng)器、打印機(jī)系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?;谄渥约邯?dú)特的傳動(dòng)控制和能源控制技術(shù),在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。今天,SINFONIA在各個(gè)領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)

    SINFONIA(昕芙旎雅株式會(huì)社)成立于1917年,以電磁控制技術(shù)為核心,提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實(shí)驗(yàn)裝置測試系統(tǒng)、振動(dòng)輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動(dòng)器、打印機(jī)系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?;谄渥约邯?dú)特的傳動(dòng)控制和能源控制技術(shù),在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。


    今天,SINFONIA在各個(gè)領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā),進(jìn)一步為可持續(xù)發(fā)展社會(huì)做出貢獻(xiàn)。


    SINFONIA日本昕芙旎雅株式會(huì)社 SHINKO神鋼

    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300mm/200mm搭載自動(dòng)切換功能的 Load Port

    SELOP08C12F-S81 Series

    200mm wafer operation

    300mm wafer operation


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動(dòng)搬送裝置(EFEM)

    面向LED/功率半導(dǎo)體

    新型搬送設(shè)備登場!

    適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求

    適用于6/8英寸基板


    300mm EFEM

    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備

    支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

    控制EFEM內(nèi)Ox/H2O,適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時(shí)代機(jī)型!

    300mm FOUP Load Port

    (Smart SELOP-8系列)


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    為次時(shí)代品質(zhì)提升(12nm, 7/8nm)做出貢獻(xiàn)

    氮?dú)獯祪?00mm FOUP Load Port

    Smart SELOP-7-N系列


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300/200mm自動(dòng)切換功能 Load Port

    Smart SELOP-7 新系列

    最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線

    300mm晶圓對應(yīng)LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應(yīng)LP!


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    為后段工序的自動(dòng)化提供支持

    切割架 Load Port

    Tape Frame FOUP Load Port

    滿足無顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300mm FOUP Load Port

    Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

    高可靠性、銷量No.1!

    采用大型指示器,一臺(tái)即搞定所有Fab.


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位

    分揀機(jī)

    半導(dǎo)體設(shè)備

    支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時(shí)代機(jī)型!

    300mm FOUP Load Port
    (Smart SELOP-8系列)

    采用獨(dú)立結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)FOUP門開關(guān)更加流暢 

    氣動(dòng)/電動(dòng)混合驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)抑制開關(guān)門產(chǎn)生的振動(dòng),大幅降低顆粒的影響。擁有最新的高氣密性FOUP。

    特長

    • 控制噴嘴升降時(shí)機(jī)

    • 避免和運(yùn)動(dòng)銷載入位置的干擾

    • 亦可與氮?dú)獯祪舨黄ヅ涞腇OUP混用

    • 調(diào)節(jié)噴嘴結(jié)合強(qiáng)度功能

    • 可更換噴嘴頭

    • 噴嘴升降位置確認(rèn)(傳感器)

    1.載體基座上的FOUP氮?dú)獯祪?/h3>
    • FOUP適用實(shí)績:ENTEGRIS公司A-300及Spectra
      (適用4吹凈口型號) ※

    2.純凈氮?dú)夤┙o

    • (1)過濾器緊接吹凈口,防止顆粒侵入FOUP

    • (2)向位于FOUP注入口的規(guī)格金屬孔眼壓焊噴嘴

    3.可通過流量計(jì)監(jiān)測氮?dú)鈿怏w的流量

    4.可通過MFC控制氮?dú)鈿怏w的流量

    4.可通過現(xiàn)場改裝將標(biāo)準(zhǔn)版SELOP-8氮?dú)獯祪艄に嚿?/h3>
    圖片關(guān)鍵詞

    ※載體基座上的FOUP氮?dú)獯祪?/p>

    300mm FOUP 載入口