SINFONIA（昕芙旎雅株式會社）成立于1917年，以電磁控制技術(shù)為核心，提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設(shè)備、小型馬達、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?；谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g(shù)，在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。

今天，SINFONIA在各個領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā)，進一步為可持續(xù)發(fā)展社會做出貢獻。

SINFONIA日本昕芙旎雅株式會社 SHINKO神鋼

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300mm/200mm搭載自動切換功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動搬送裝置（EFEM）

面向LED/功率半導(dǎo)體

新型搬送設(shè)備登場！

適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求

適用于6/8英寸基板

300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備

支持更先進、更高效的半導(dǎo)體工藝

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM內(nèi)Ox/H2O，適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

支持進一步微細化的次時代機型！

300mm FOUP Load Port

（Smart SELOP－8系列）

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

為次時代品質(zhì)提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻

氮氣吹凈300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300/200mm自動切換功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線

300mm晶圓對應(yīng)LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應(yīng)LP！

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

為后段工序的自動化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

滿足無顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）

高可靠性、銷量No.1！

采用大型指示器，一臺即搞定所有Fab.

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位

分揀機

無顆粒

采用獨創(chuàng)的防顆粒侵入技術(shù)

高可靠性

（1）高生產(chǎn)率及豐富的出貨業(yè)績
（2）活躍在全球的300mm半導(dǎo)體工廠
（3）MCBF實現(xiàn)870,000次循環(huán)

廣泛的兼容性

（1）應(yīng)對各種FOUP（Entegris、Shin-Etsu、Miraial等）
（2）RS232指令操控
（3）選用適配器（選配件）應(yīng)對200mm晶元
（4）可進行E84、CID通信

采用自己獨特的方式

（1）高精度映射（晶元有/無、雙槽、交叉）
（2）可應(yīng)對薄片晶元

提高維護性

（1）基于PC的支持工具軟件
（2）全樹脂外包裝，防止劃傷/臟污
（3）前面操作，方便維護
（4）通信記錄保存功能

安裝方法簡便易行

（1）BOLTS面位置調(diào)整功能
（2）OHT解鎖位置調(diào)整功能
（3）標(biāo)配獨立搬運腳輪

大型指示器

大型指示器，顯而易見

短周期亦可應(yīng)對