SINFONIA（昕芙旎雅株式會社）成立于1917年，以電磁控制技術(shù)為核心，提供半導體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設(shè)備、小型馬達、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?；谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g(shù)，在各種領(lǐng)域提供相對應的產(chǎn)品。

今天，SINFONIA在各個領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā)，進一步為可持續(xù)發(fā)展社會做出貢獻。

SINFONIA日本昕芙旎雅株式會社 SHINKO神鋼

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

300mm/200mm搭載自動切換功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動搬送裝置（EFEM）

面向LED/功率半導體

新型搬送設(shè)備登場！

適用于LED/功率半導體基板大型化需求

適用于6/8英寸基板

300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備

支持更先進、更高效的半導體工藝

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM內(nèi)Ox/H2O，適應最尖端生產(chǎn)工藝需求

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

支持進一步微細化的次時代機型！

300mm FOUP Load Port

（Smart SELOP－8系列）

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

為次時代品質(zhì)提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻

氮氣吹凈300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

300/200mm自動切換功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線

300mm晶圓對應LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應LP！

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

為后段工序的自動化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

滿足無顆粒、反復操作下的高耐久性等半導體制造設(shè)備所需的規(guī)格。

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）

高可靠性、銷量No.1！

采用大型指示器，一臺即搞定所有Fab.

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設(shè)備

支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位

分揀機

實現(xiàn)從空氣到氮氣的高效轉(zhuǎn)換

實現(xiàn)微環(huán)境內(nèi)高效維持低氧氣濃度
采用通過100LPM以下氮氣消耗量維持氧氣濃度低于100ppm的氮氣循環(huán)系統(tǒng)

自動控制微差壓

10Pa微差壓計+/- 3.5

可安裝于與傳統(tǒng)型號EFEM相同的位置

• (1)與傳統(tǒng)型EFEM空間占用相同，可直接更換現(xiàn)有標準EFEM

• (2)可通過固定型機械臂實現(xiàn)最大4LP

• (3)與傳統(tǒng)型EFEM相同，側(cè)面設(shè)有維護窗（可通過追加選購，定制使用側(cè)面位置）

EFEM內(nèi)部環(huán)境·分析監(jiān)視器

可使用數(shù)字分析器進行監(jiān)測

安全操作

安全地使用氮氣進行空氣交換
※按照S2、S8、CE標準進行