SINFONIA（昕芙旎雅株式會(huì)社）成立于1917年，以電磁控制技術(shù)為核心，提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車(chē)實(shí)驗(yàn)裝置測(cè)試系統(tǒng)、振動(dòng)輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動(dòng)器、打印機(jī)系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?；谄渥约邯?dú)特的傳動(dòng)控制和能源控制技術(shù)，在各種領(lǐng)域提供相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品。

今天，SINFONIA在各個(gè)領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，進(jìn)一步為可持續(xù)發(fā)展社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

SINFONIA日本昕芙旎雅株式會(huì)社 SHINKO神鋼

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300mm/200mm搭載自動(dòng)切換功能的 Load Port

SELOP08C12F-S81 Series

200mm wafer operation

300mm wafer operation

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動(dòng)搬送裝置（EFEM）

面向LED/功率半導(dǎo)體

新型搬送設(shè)備登場(chǎng)！

適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求

適用于6/8英寸基板

300mm EFEM

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備

支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

控制EFEM內(nèi)Ox/H2O，適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時(shí)代機(jī)型！

300mm FOUP Load Port

（Smart SELOP－8系列）

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

為次時(shí)代品質(zhì)提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻(xiàn)

氮?dú)獯祪?00mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7-N系列

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300/200mm自動(dòng)切換功能 Load Port

Smart SELOP-7 新系列

最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線(xiàn)

300mm晶圓對(duì)應(yīng)LP僅需裝載開(kāi)放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對(duì)應(yīng)LP！

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

為后段工序的自動(dòng)化提供支持

切割架 Load Port

Tape Frame FOUP Load Port

滿(mǎn)足無(wú)顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

300mm FOUP Load Port

Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）

高可靠性、銷(xiāo)量No.1！

采用大型指示器，一臺(tái)即搞定所有Fab.

SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位

分揀機(jī)

搭載高可靠性、銷(xiāo)量No.1的SELOP系列載入口

可搭載N2吹凈規(guī)格的載入口（選配件）

無(wú)顆粒

采用獨(dú)創(chuàng)的流量控制與固定式機(jī)器人

高通量

省空間

SEMI標(biāo)準(zhǔn)軟件（應(yīng)對(duì)GEM300）

種類(lèi)豐富（2×2、3×3、4×4口）

選配件

• 基板翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

• 區(qū)域傳感器

• EFEM內(nèi)照明

• 應(yīng)對(duì)真空吸附

• E84接口

• 信號(hào)塔

• 負(fù)離子發(fā)生器