SINFONIA(昕芙旎雅株式會社)成立于1917年,以電磁控制技術(shù)為核心,提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?;谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g(shù),在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。
今天,SINFONIA在各個領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā),進(jìn)一步為可持續(xù)發(fā)展社會做出貢獻(xiàn)。
SINFONIA日本昕芙旎雅株式會社 SHINKO神鋼
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300mm/200mm搭載自動切換功能的 Load Port
SELOP08C12F-S81 Series
200mm wafer operation
300mm wafer operation
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動搬送裝置(EFEM)
面向LED/功率半導(dǎo)體
新型搬送設(shè)備登場!
適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求
適用于6/8英寸基板
300mm EFEM
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備
支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM
控制EFEM內(nèi)Ox/H2O,適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時代機型!
300mm FOUP Load Port
(Smart SELOP-8系列)
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
為次時代品質(zhì)提升(12nm, 7/8nm)做出貢獻(xiàn)
氮氣吹凈300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7-N系列
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300/200mm自動切換功能 Load Port
Smart SELOP-7 新系列
最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線
300mm晶圓對應(yīng)LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應(yīng)LP!
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
為后段工序的自動化提供支持
切割架 Load Port
Tape Frame FOUP Load Port
滿足無顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)
高可靠性、銷量No.1!
采用大型指示器,一臺即搞定所有Fab.
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位
分揀機

300mm EFEM
微環(huán)境設(shè)備
支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝

非吸附/吸附式晶圓傳輸(清潔等級1)
※抑制晶圓內(nèi)面顆粒附著
可擴展應(yīng)用于200mm晶圓及石英晶圓
(300mm選購)
高速、高精度定位
可裝載氮氣吹凈載入口
(選購)
3個標(biāo)準(zhǔn)載入口+可增設(shè)載入口
(選購)
可具備抗腐蝕性
(選購)

300mm晶圓搬運機器人