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    300mm EFEM微環(huán)境設(shè)備 SINFONIA昕芙旎雅支持更高效的半導(dǎo)體工藝

    SINFONIA(昕芙旎雅株式會社)成立于1917年,以電磁控制技術(shù)為核心,提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?;谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g(shù),在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。今天,SINFONIA在各個領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)

    SINFONIA(昕芙旎雅株式會社)成立于1917年,以電磁控制技術(shù)為核心,提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?;谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g(shù),在各種領(lǐng)域提供相對應(yīng)的產(chǎn)品。


    今天,SINFONIA在各個領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā),進(jìn)一步為可持續(xù)發(fā)展社會做出貢獻(xiàn)。


    SINFONIA日本昕芙旎雅株式會社 SHINKO神鋼

    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300mm/200mm搭載自動切換功能的 Load Port

    SELOP08C12F-S81 Series

    200mm wafer operation

    300mm wafer operation


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動搬送裝置(EFEM)

    面向LED/功率半導(dǎo)體

    新型搬送設(shè)備登場!

    適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求

    適用于6/8英寸基板


    300mm EFEM

    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備

    支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM

    控制EFEM內(nèi)Ox/H2O,適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時代機型!

    300mm FOUP Load Port

    (Smart SELOP-8系列)


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    為次時代品質(zhì)提升(12nm, 7/8nm)做出貢獻(xiàn)

    氮氣吹凈300mm FOUP Load Port

    Smart SELOP-7-N系列


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300/200mm自動切換功能 Load Port

    Smart SELOP-7 新系列

    最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線

    300mm晶圓對應(yīng)LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應(yīng)LP!


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    為后段工序的自動化提供支持

    切割架 Load Port

    Tape Frame FOUP Load Port

    滿足無顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    300mm FOUP Load Port

    Smart SELOP-7(SELOP12F25-S7系列)

    高可靠性、銷量No.1!

    采用大型指示器,一臺即搞定所有Fab.


    SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備

    支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位

    分揀機


    半導(dǎo)體設(shè)備

    300mm EFEM
    微環(huán)境設(shè)備

    支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝

    特長

    1.非吸附/吸附式晶圓傳輸(清潔等級1)

    ※抑制晶圓內(nèi)面顆粒附著

    2.可擴展應(yīng)用于200mm晶圓及石英晶圓

    (300mm選購)

    3.高速、高精度定位

    4.可裝載氮氣吹凈載入口

    (選購)

    5.3個標(biāo)準(zhǔn)載入口+可增設(shè)載入口

    (選購)

    6.可具備抗腐蝕性

    (選購)

    圖片關(guān)鍵詞

    300mm晶圓搬運機器人