日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-550C SERIES
全屬數(shù)字鋟流控制器
MODEL DF-550C SERIES
高性能數(shù)字MFC"DF-250C系列"的全金屆型號"DF.550C"發(fā)布!
金屬密封結(jié)構(gòu)可以測量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他病蝕性氣體。
DF350
DF300
DF200
DF250
DF-550C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） | |
| 目標(biāo)氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正） | |
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~10 SLM | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)能力 | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)（wihtin±2％F.S.） | |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. | |
| 工作壓差（* 4） | 50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） | |
| 最大入口壓力 | 500kPa(G) | |
| 耐壓 | 980kPa(G) | |
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | |
| 溫度 | 使用溫度 | 5～50℃ |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | |
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co | |
| 電氣連接 | D-sub 9針KFC Standard（依據(jù)SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2 | |
| 流量設(shè)定信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上） | |
| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：最多99臺（9600 bps） | |
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | |
| 接頭 | 相當(dāng)于1/4 VCR | |
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | |
| 重量（* 9） | 約1100g | |
（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分、灰塵、霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個(gè)大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 3）對于流量范圍（最大滿量程）的精度。
（* 4）工作壓差可能因規(guī)格而異。
尺寸圖
接線連接
