eoptics頤光科技-微光斑組件
概述
微光斑配套于穆勒矩陣橢偏儀/光譜橢偏儀的升級組件，可配合可視化調(diào)平系統(tǒng)用于消除透明基底產(chǎn)生的無效背反信息，針對小樣件、非規(guī)則測量透明基底區(qū)域?qū)崿F(xiàn)快速消背反橢偏測量。
特色功能
■ 支持100*100μm/200*200μm尺寸定制
■ 支持超小微光斑30*50μm等不同規(guī)格定制開發(fā)；
■ 集成消透明基底背反光路以及算法設(shè)計；
■ 可配合可視化調(diào)平系統(tǒng)模塊
應用場景
