eoptics頤光科技-VP真空泵

VP真空泵
VP真空泵作為穆勒矩陣橢偏儀/光譜橢偏儀/膜厚儀的配套組件，可用于樣件負(fù)壓吸附測(cè)量。

概述

VP真空泵作為穆勒矩陣橢偏儀/光譜橢偏儀/膜厚儀的配套組件，可用于樣件負(fù)壓吸附測(cè)量。

特色功能

■ 支持2/4/6/8/10/12寸樣件吸附測(cè)量；

■ 支持吸附氣路路徑定制設(shè)計(jì)；

■ 體積小巧，靜音集成；

■ 提供負(fù)壓-45kpa吸附

應(yīng)用場(chǎng)景 

應(yīng)用各式光學(xué)分析儀器的于樣件負(fù)壓吸附，定位快速測(cè)量。