eoptics頤光科技-VP真空泵
VP真空泵
VP真空泵作為穆勒矩陣橢偏儀/光譜橢偏儀/膜厚儀的配套組件，可用于樣件負(fù)壓吸附測量。
概述
VP真空泵作為穆勒矩陣橢偏儀/光譜橢偏儀/膜厚儀的配套組件，可用于樣件負(fù)壓吸附測量。
特色功能
■ 支持2/4/6/8/10/12寸樣件吸附測量；
■ 支持吸附氣路路徑定制設(shè)計(jì)；
■ 體積小巧，靜音集成；
■ 提供負(fù)壓-45kpa吸附
應(yīng)用場景
應(yīng)用各式光學(xué)分析儀器的于樣件負(fù)壓吸附，定位快速測量。