SINFONIA（昕芙旎雅株式會社）成立于1917年，以電磁控制技術為核心，提供半導體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實驗裝置測試系統(tǒng)、振動輸送設備、小型馬達、電磁離合器/制動器、打印機系統(tǒng)等各領域產品?；谄渥约邯毺氐膫鲃涌刂坪湍茉纯刂萍夹g，在各種領域提供相對應的產品。
今天，SINFONIA在各個領域孕育的技術沿用至"再生醫(yī)學","物流"和"農業(yè)"領域產品的開發(fā)，進一步為可持續(xù)發(fā)展社會做出貢獻。
SINFONIA日本昕芙旎雅株式會社 SHINKO神鋼
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
300mm/200mm搭載自動切換功能的 Load Port
SELOP08C12F-S81 Series
200mm wafer operation
300mm wafer operation
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動搬送裝置（EFEM）
面向LED/功率半導體
新型搬送設備登場！
適用于LED/功率半導體基板大型化需求
適用于6/8英寸基板
300mm EFEM
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設備
支持更先進、更高效的半導體工藝
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM
控制EFEM內Ox/H2O，適應最尖端生產工藝需求
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
支持進一步微細化的次時代機型！
300mm FOUP Load Port
（Smart SELOP－8系列）
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
為次時代品質提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻
氮氣吹凈300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7-N系列
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
300/200mm自動切換功能 Load Port
Smart SELOP-7 新系列
最適合300mm與200mm晶圓混合生產線
300mm晶圓對應LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對應LP！
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
為后段工序的自動化提供支持
切割架 Load Port
Tape Frame FOUP Load Port
滿足無顆粒、反復操作下的高耐久性等半導體制造設備所需的規(guī)格。
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）
高可靠性、銷量No.1！
采用大型指示器，一臺即搞定所有Fab.
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導體設備
支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位
分揀機
為次時代品質提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻
氮氣吹凈300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7-N系列
防止晶圓間交叉污染 防止晶圓表面氧化
通過載入口處的氮氣吹凈，實現(xiàn)迅速對存取過程中FOUP內晶圓的管理
控制噴嘴升降時機
避免和運動銷載入位置的干擾
亦可與氮氣吹凈不匹配的FOUP混用
調節(jié)噴嘴結合強度功能
可更換噴嘴頭
噴嘴升降位置確認（傳感器）
載體基座上的FOUP氮氣吹凈
FOUP適用實績：ENTEGRIS公司A-300及Spectra
（適用4吹凈口型號） ※1
防止來自吹凈口的顆粒侵入
(1)進氣口側裝載氣體過濾器 ※2
(2)為了向位于FOUP注入口的金屬環(huán)壓接噴嘴
可通過流量計監(jiān)測氮氣氣體的流量
可通過MFC控制氮氣氣體的流量
