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SINFONIA（昕芙旎雅株式會(huì)社）成立于1917年，以電磁控制技術(shù)為核心，提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實(shí)驗(yàn)裝置測(cè)試系統(tǒng)、振動(dòng)輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動(dòng)器、打印機(jī)系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品?；谄渥约邯?dú)特的傳動(dòng)控制和能源控制技術(shù)，在各種領(lǐng)域提供相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品。今天，SINFONIA在各個(gè)領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)
SINFONIA（昕芙旎雅株式會(huì)社）成立于1917年，以電磁控制技術(shù)為核心，提供半導(dǎo)體搬送裝置、宇宙火箭電氣部件、汽車實(shí)驗(yàn)裝置測(cè)試系統(tǒng)、振動(dòng)輸送設(shè)備、小型馬達(dá)、電磁離合器/制動(dòng)器、打印機(jī)系統(tǒng)等各領(lǐng)域產(chǎn)品。基于其自己獨(dú)特的傳動(dòng)控制和能源控制技術(shù)，在各種領(lǐng)域提供相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品。
今天，SINFONIA在各個(gè)領(lǐng)域孕育的技術(shù)沿用至"再生醫(yī)學(xué)","物流"和"農(nóng)業(yè)"領(lǐng)域產(chǎn)品的開發(fā)，進(jìn)一步為可持續(xù)發(fā)展社會(huì)做出貢獻(xiàn)。
SINFONIA日本昕芙旎雅株式會(huì)社 SHINKO神鋼
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300mm/200mm搭載自動(dòng)切換功能的 Load Port
SELOP08C12F-S81 Series
200mm wafer operation
300mm wafer operation
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO基板自動(dòng)搬送裝置（EFEM）
面向LED/功率半導(dǎo)體
新型搬送設(shè)備登場(chǎng)！
適用于LED/功率半導(dǎo)體基板大型化需求
適用于6/8英寸基板
300mm EFEM
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO微環(huán)境設(shè)備
支持更先進(jìn)、更高效的半導(dǎo)體工藝
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO300mm N2 EFEM
控制EFEM內(nèi)Ox/H2O，適應(yīng)最尖端生產(chǎn)工藝需求
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
支持進(jìn)一步微細(xì)化的次時(shí)代機(jī)型！
300mm FOUP Load Port
（Smart SELOP－8系列）
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
為次時(shí)代品質(zhì)提升（12nm, 7/8nm）做出貢獻(xiàn)
氮?dú)獯祪?00mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7-N系列
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300/200mm自動(dòng)切換功能 Load Port
Smart SELOP-7 新系列
最適合300mm與200mm晶圓混合生產(chǎn)線
300mm晶圓對(duì)應(yīng)LP僅需裝載開放式晶圓盒適配器便可適用于200mm晶圓對(duì)應(yīng)LP！
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
為后段工序的自動(dòng)化提供支持
切割架 Load Port
Tape Frame FOUP Load Port
滿足無顆粒、反復(fù)操作下的高耐久性等半導(dǎo)體制造設(shè)備所需的規(guī)格。
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
300mm FOUP Load Port
Smart SELOP-7（SELOP12F25-S7系列）
高可靠性、銷量No.1！
采用大型指示器，一臺(tái)即搞定所有Fab.
SINFONIA昕芙旎雅SHINKO半導(dǎo)體設(shè)備
支持高效率、穩(wěn)定的晶元移位
分揀機(jī)
可兼容300及200mm晶員的 新一代機(jī)型
只需對(duì)300mmFOUP及200mm Open Cassette適配器進(jìn)行切換即可使用!
搭載載具自動(dòng)識(shí)別功能對(duì)應(yīng)Mapping搭載晶圓彈出傳感器Tilt type
Horizontal type
Tilt type
| LOAD PORT | SELOP08C12F-S81 Series |
|---|---|
| Dimensions | W474mm x D547mm x H1381mm（Load Port） |
| W455mm x D300mm x H432mm（Tilt-type 200mmOCA） | |
| W430mm x D315mm x H373mm（Horizontal-type 200mmOCA） | |
| Weight | 65kg（LP） |
| 13.2kg（Tilt-type 200mmOCA） | |
| 8.5kg（Horizontal-type 200mmOCA） |
| 200mm wafer operation | 300mm wafer operation | |
|---|---|---|
| Application | 200mm 25 slot cassette (SEMI-Standard) | 300mm 25 slot FOUP (SEMI-Standard) |
| Cycle time | Open：11sec.(including mapping)、 Close：7sec.(excluding mapping) | Open：12sec.(including mapping)、 Close：9sec.(excluding mapping) |
| Door holding method | N/A | Vacuum absorption method |
| Detecting function | ①Open Cassette normal placement ②Stage normal placement ③Wafer mapping ④Wafer protrusion ⑤Hand safety | ①FOUP normal placement ②Foup door checking ③Wafer mapping ④Wafer protrusion ⑤Hand safety |
| Standard feature | ①Wafer mapping ②Controller ③Carrier base placement adjustment mechanism ④Bolts surface position adjustment mechanism | |
| ⑤Cassette side-slip Prevention ⑥300mmFOUP Infopad pin holder ⑦Stage fixation at wafer horizontal position ⑧Minimizing vibration in rotating and Power | ||
| Utility | ①Power：DC24V 5A ②CDA：0.45～0.6 MPa 20 L/min ③Vacuum：-40kPa 5L/min | |
| Communication interface | RS232C or Ethernet ※2 | |
| Options | ①Customizable indicator panel ②Customizable switch panel ③Applicable to AC200V ④Applicable to FOSB※1 ⑤E84 ⑥E84,CID Communication（300mmFOUP only） | |
※1Depending on FOSB type, performance may vary. Please contact us for details.
※2Ethernet is either a registered trademark or a trademark of Xerox Corporation in the United States and/or other countries.
