用於處理6吋及8吋晶圓的耐高溫晶圓夾
設(shè)計專為處理6吋及8吋半導(dǎo)體矽晶圓的晶圓夾
碰觸晶圓的部分是以Vespel(R)材質(zhì)製成
能耐高溫至攝氏288度
M800-200N
接觸晶圓邊緣: 5.5mm(上方), 15.0mm(下方)
長度: 154mm,重量: 47g
設(shè)計專為處理6吋及8吋半導(dǎo)體矽晶圓的晶圓夾
碰觸晶圓的部分是以Vespel(R)材質(zhì)製成
能耐高溫至攝氏288度
M800-200N
接觸晶圓邊緣: 5.5mm(上方), 15.0mm(下方)
長度: 154mm,重量: 47g