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    日本FLUORO福樂-用於處理6吋及8吋晶圓的耐高溫晶圓夾
    
                                                          
    用於處理6吋及8吋晶圓的耐高溫晶圓夾設計專為處理6吋及8吋半導體矽晶圓的晶圓夾碰觸晶圓的部分是以Vespel(R)材質製成能耐高溫至攝氏288度M800-200N