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    日本AMAYA天谷制作所株式會社常壓CVD設(shè)備AMAX800V
    
                                                          
    日本AMAYA天谷制作所株式會社常壓CVD設(shè)備AMAX800V具有極端連續(xù)型的高生產(chǎn)率常壓CVD設(shè)備AMAX800V8英寸 每小時 100 張的高吞吐量使用SiC托盤的重金屬污染對策和長期穩(wěn)定的工藝提高可維護(hù)性特征通過改進(jìn)輸送機(jī)構(gòu)實現(xiàn)了高吞吐量。SiH4，PH3，B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合并表面反應(yīng)，優(yōu)化后在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。 可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均
    
                                                                                                                                                  
                        
    
                
    
            
    
        
    
    
    
    
    
        
    
            
    

                  
                
    
                                        
    
                        
    
                            
                            
    

                                        
                                
    
                                    
    日本AMAYA天谷制作所株式會社
    常壓CVD設(shè)備AMAX800V
    產(chǎn)品信息
    具有極端連續(xù)型的高生產(chǎn)率常壓CVD設(shè)備
    AMAX800V
    • 8英寸 每小時 100 張的高吞吐量
    • 使用SiC托盤的重金屬污染對策和長期穩(wěn)定的工藝
    • 提高可維護(hù)性
    圖片關(guān)鍵詞
    特征
    • 通過改進(jìn)輸送機(jī)構(gòu)實現(xiàn)了高吞吐量。
    • SiH4，PH3，B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合并表面反應(yīng)，優(yōu)化后在低溫和低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。 可以獲得優(yōu)異的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。
    • 使用SiC托盤很難發(fā)生重金屬污染。 此外，可以獲得穩(wěn)定的工藝性能，而由于熱引起的老化很小。
    • 標(biāo)配自動托盤更換功能，實現(xiàn)工人安全，縮短維護(hù)時間。 此外，自動抬起頭部底座的機(jī)構(gòu)便于清潔。
    性能
    均勻的薄膜厚度≦±3.0%
    支持的晶圓尺寸8寸
    氣體種類SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2
    薄膜沉積溫度350°C~450°C
    生產(chǎn)力100個/小時
    主要規(guī)格
    設(shè)備尺寸1460毫米（闊） x 3830毫米（深） x 2250毫米（高）
    加熱機(jī)構(gòu)電阻加熱
    裝載卸載機(jī)器人 CtoC 運輸
    分散頭（氣體噴嘴）AMAX頭（標(biāo)準(zhǔn)2頭，3頭可用）